특허 · 2016 성과 기록
마그네트 유니트가 구성된 다극 마그네트론 캐소드
- 출원등록기관
- 에이티 주식회사
- 사업자 등록번호
- 5048168758
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허등록
- 출원등록번호
- 10-1662659
- 출원등록일자
- 2016-09-28
- 사업화 활용
- 상업화
- 사업자 연결
- 504-81-68758 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 13809
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