특허 · 2023 성과 기록
초저온 냉동기를 이용하여 반도체 장비에서 이용되는 공정 가스를 처리하는 공정 가스 처리 장치
- 출원등록기관
- 크라이오에이치앤아이
- 사업자 등록번호
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허등록
- 출원등록번호
- 10-2588509
- 출원등록일자
- 2023-10-06
- 사업화 활용
- 상업화
- 사업자 연결
- 사업자등록번호 미확인 — 원자료 보완 후 연결합니다.
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 1471
연결이 확인된 기술
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