특허 · 2013 성과 기록
기판 제조용 오븐 챔버의 근접핀 높이조절 방법
- 출원등록기관
- (주)코디엠
- 사업자 등록번호
- 3128137108
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 10-2013-01115339
- 출원등록일자
- 2013-09-27
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 312-81-37108 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 20316
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