특허 · 2013 성과 기록
웨이퍼 접합 시스템용 웨이퍼 쿨러 언클램핑 조립체
- 출원등록기관
- (주)신성에프에이
- 사업자 등록번호
- 1298623555
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 10-2013-0103593
- 출원등록일자
- 2013-08-30
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 129-86-23555 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 20991
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