특허 · 2013 성과 기록
금속-알킬 아마이드와 금속-알콕사이드 전구체 조합을 사용한 원자층 화학증착법을 이용한 하프
- 출원등록기관
- 포항공과대학교 산학협력단
- 사업자 등록번호
- 5068207303
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 10-2006-0023679
- 출원등록일자
- 2006-03-14
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 506-82-07303 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 21622
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