특허 · 2013 성과 기록
포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브 다충막 패턴의 제조방법
- 출원등록기관
- 한국과학기술원
- 사업자 등록번호
- 3148201980
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 일반 해외 출원
- 출원국
- 미국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 10/962363
- 출원등록일자
- 2004-10-08
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 314-82-01980 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 21626
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