특허 · 2011 성과 기록
플라즈마 애싱 건식 초음파세정기 및 그 플라즈마 헤드
- 출원등록기관
- 씨티에스(주)
- 사업자 등록번호
- 5038161000
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허등록
- 출원등록번호
- 1020000000000
- 출원등록일자
- 2013-12-09
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 503-81-61000 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 25251
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