특허 · 2024 성과 기록
반도체 제조 설비의 스마트 발열 시스템
- 출원등록기관
- 주식회사 핫앤쿨
- 사업자 등록번호
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 20210190323
- 출원등록일자
- 2024-08-20
- 사업화 활용
- 상업화
- 사업자 연결
- 사업자등록번호 미확인 — 원자료 보완 후 연결합니다.
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 65
연결이 확인된 기술
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