일반기술

비-증발 게터(NEG)에 기초한 초고 진동 수착 펌프

오일이 필요 없는, 수소와 비-희유 가스의 초고 진공 펌핑에 대해 서술하였다. 펌핑은 고 다공성 Ti, ZrAl 그리고 다른 NEG 합금에 의한 가스 흡수를 통하여 실현된다. 펌프는 동적 하중, 열적, 전자기적, 미립자의 복사 조건에서도 내구성을 유지한다. 환형, 판형, 혹은 플러그 형태의 독립체로 쉽게 변환될 수 있는 고정식 펌프는 모듈 원리에 따라 집단적으로 편성될 수 있다. 펌프에 의한 수소 수착은 가역적으로 될 수 있고, 재생 후에 원래의 양으로 복구될 수 있다. 다른 가스들은 화학적 혼합물에 대응함에 따라 비가역적으로 게터에 축적된다. 환형 타입의 펌프는 바디-열 커버, 두 개의 모선과 가스 흡수 요소(첫 번째 단계의 모듈)로 구성되어 있다. 게터는 그것들을 직접적으로 지나는 흐름에 의해 활성화와 재생에서 가열된다. 활성화 온도는 섬씨 650도, NEG 재료는 다공 티타늄이다. 모듈 설계는 광범위에서 수착 용량이 변화하도록, 요구된 배치를 만족하도록, 쉽게 모듈을 교체하도록 수행된다. 펍핑 속도는 섭씨 200도에서 12 m3/sec이고 섭씨 20도에서는 7 m3/sec이며, 압력은 1E-7 - 1E-3, 가역 수소 수착 용량은 온도가 섭씨 20도이고 압력이 1.3E-4Pa에서 1000 m3*Pa, 다른 가스에 대한 총 비가역 용량은 300 m3*Pa, 활성화(재생) 가열을 위한 전력 소비는 1.0 kW, 가열 전류는 150A, 지름은 바깥 410mm, 안쪽 360mm, 높이는 140mm, 중량은 7kg, 게터 중량은 0.4kg, 모듈 수(첫번째 레벨)은 25이다. 플러그 펌프는 두 개의 펌핑 플러그와 플랜지 위에 마운트된 가열기로 이루어져 있고, 활성화(재생) 온도는 섭씨 350도를 넘지 않고, 재료는 TiV이다. 펌핑 속도는 온도가 섭씨 200도에서 3m3/sec, 섭씨 20도에서 2m3/sec이고, 압력은 1E-7 - 1E-3Pa, 가역 수소 수착 용량은 섭씨 20도의 온도와 1.3E-4Pa의 압력에서 1E3 m3Pa이고, 모든 가스에 대한 총 비가역 용량은 300m3Pa, 활성화(재생) 가열을 위한 전력 소비는 1.1kW, 가열 전류는 0.5A, 높이 450mm, 중량 9kg, 게터 중량 0.8kg, 모듈 수(첫번째 단계)는 40*2이다. 활성화 온도는 섬씨 650도, NEG 재료는 다공 티타늄이다. 모듈 설계는 광범위에서 수착 용량이 변화하도록, 요구된 배치를 만족하도록, 쉽게 모듈을 교체하도록 수행된다. 펍핑 속도는 섭씨 200도에서 12 m3/sec이고 섭씨 20도에서는 7 m3/sec이며, 압력은 1E-7 - 1E-3, 가역 수소 수착 용량은 온도가 섭씨 20도이고 압력이 1.3E-4Pa에서 1000 m3*Pa, 다른 가스에 대한 총 비가역 용량은 300 m3*Pa, 활성화(재생) 가열을 위한 전력 소비는 1.0 kW, 가열 전류는 150A, 지름은 바깥 410mm, 안쪽 360mm, 높이는 140mm, 중량은 7kg, 게터 중량은 0.4kg, 모듈 수(첫번째 레벨)은 25이다. 플러그 펌프는 두 개의 펌핑 플러그와 플랜지 위에 마운트된 가열기로 이루어져 있고, 활성화(재생) 온도는 섭씨 350도를 넘지 않고, 재료는 TiV이다. 펌핑 속도는 온도가 섭씨 200도에서 3m3/sec, 섭씨 20도에서 2m3/sec이고, 압력은 1E-7 - 1E-3Pa, 가역 수소 수착 용량은 섭씨 20도의 온도와 1.3E-4Pa의 압력에서 1E3 m3Pa이고, 모든 가스에 대한 총 비가역 용량은 300m3Pa, 활성화(재생) 가열을 위한 전력 소비는 1.1kW, 가열 전류는 0.5A, 높이 450mm, 중량 9kg, 게터 중량 0.8kg, 모듈 수(첫번째 단계)는 40*2이다.