일반기술

실리콘-카바이드 코팅 적용에 관한 방법

반도체 산업에서 사용되는 고순도 실리콘 단결정을 생장시키기 위한 유닛에서, 실리콘-카바이드 코팅을 가열기와 발열기의 구성 부품에 적용하는 것에 대해 기술하였다. 이 코팅은 밖으로 나가는 혼합물과 공정 과정으로 되돌아오는 반응하지 않은 재료의 순차적인 분리와 함께 흑연과 탄소-흑연 재료로부터 가스 상태 증발(메틸 3염화물 시레인과 수소)의 방법에 응용된다. 재료의 주된 기술적 특징으로는, 증발 속도는 시간당 0.5-1mm, 증발 온도는 섭씨 200-1350도, 대기 중에서 코팅된 물품 작동의 최대 온도는 섭씨 1650도이다. 실리콘-카바이드 코팅은 더 높은 순도를 갖는 실리콘 단결정을 얻게 하고 가열 요소와 발열 구성 요소의 수명 연한을 증가시키며 탄소-흑연 재료의 소비를 줄여준다. 어떤 유사품도 알려져 있지 않다.증발 속도는 시간당 0.5-1mm, 증발 온도는 섭씨 200-1350도, 대기 중에서 코팅된 물품 작동의 최대 온도는 섭씨 1650도이다. 실리콘-카바이드 코팅은 더 높은 순도를 갖는 실리콘 단결정을 얻게 하고 가열 요소와 발열 구성 요소의 수명 연한을 증가시키며 탄소-흑연 재료의 소비를 줄여준다.