일반기술
실리콘 단결정 성장을 위한 차세대 유닛
성분상 높은 균질성을 갖는 실리콘 단결정의 성장을 목적으로, 실리콘 단결정에서 생산된 유닛은 직경 150-300mm, 길이는 3000mm까지의 고 균질성을 갖는다. 유사 제품에 대해, 이 유닛은 생산성에서 1.5배를, 전력 소비에서 30%의 감소 성능을 보이고 있다.실리콘 단결정에서 생산된 유닛은 직경 150-300mm, 길이는 3000mm까지의 고 균질성을 갖음.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 세라믹재료
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-06-13
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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