일반기술

압력 변환기를 위한 박막 스트레인 게이지 요소(센서) 제작에 관한 마이크로 일렉트로닉 기술

기구제작, 기계 설치, 농업 및 산업용 복합 장치, 오일 및 가스 산업, 금속 공학에서 사용되는 중량 측정 장치와 더불어, 압력, 고도, 힘, 가속도 측정 변환기의 측정용 요소로서의 박막 스트레인 게이지 요소(센서)의 사용에 대해 기술하였다. 이 기술은 마이크로 일렉트로닉 생산 작업을 기초로 하며, 금속 기재 연마, 이온-플라스마 분무, 그리고 높은 민감도 계수의 박형 저항 스트레인 게이지(RGS) 막의 열적 기화와 같은 기술 등을 포함하며, 광학 리소그래피에 의한 RSG 브리지 회로의 사진기술, 2면 광화학 밀링에 의한 개별 RSG 요소의 절삭, 레이저 RSG 조정, 브리지 회로 요소의 전기적 연결, 보호 코팅 응용 등으로 나열할 수 있다. RSG 요소(센서)는 작동 하중 1.0-5.0N, 전압 10.0V, 출력 신호 20.0-100.0mV/V, -50에서 +100도C의 작동 온도 범위의 특성을 보인다. 온도 오차에 대해서는 제로 드리프트와 범위 변화의 경우 0.1%/10도C 이하이며, 허용 가능 과부하는 200% 이하, 주기 안정성은 1.5백만 사이클이다. 이 기술 브뤼셀에서 열린 "Euroca-95" 국제 발명 전람회에서 수상하였다. 이 기술은 양산이 가능하고, 생산성이나 부품이 저가인 측면에서 반도체 IC 제작과 유사한 특성이 있다. 따라서 모든 공장에서 센서를 제작할 수 있고, Schlumber(프랑스), Bell & Howell(영국), Eckardt(FRG) 등의 탄성 요소와 비교할 때 스트레인 게이지 요소는 우수한 비용 절감 효과가 있다.RSG 요소(센서)는 작동 하중 1.0-5.0N, 전압 10.0V, 출력 신호 20.0-100.0mV/V, -50에서 +100도C의 작동 온도 범위의 특성을 보인다. 온도 오차에 대해서는 제로 드리프트와 범위 변화의 경우 0.1%/10도C 이하이며, 허용 가능 과부하는 200% 이하, 주기 안정성은 1.5백만 사이클이다.