일반기술

백금 공칭 정적 특성(NSC) 박막 온도-민감성 요소의 생산 기술

간헐 생산되는 저항 변환기와 TPS 600 저항 온도 변환기에서 감지 요소로서 적용 가능한, 백금 NSC를 이용한 박막 온도-민감성 요소의 사용에 대해 기술하였다. 이 기술은 부분 연속 레이저 저항 조정으로 유전 기재 상에서 백금 열저항을 얻기 위해 열적 진공 분무, 이온-플라스마 스퍼터링과 광학 리소그래피를 적용하였고, 외부 핀의 연결 및 보호 세라믹 캡슐 실링 등을 포함하고 있다. TPS-600은 50에서 100옴 범위의 0도C에서의 공칭 저항을 갖고, W_100은 1.385, 측정 온도 범위는 -200-+600도C, 열적 지연 지수는 최대 60초인 주요 특성을 보이고 있다. 이 기술의 주요 특징은 다음과 같이 나열할 수 있다: 귀금속(백금)소비의 현저한 감소(100배 이상); 도선 측정 요소와 비교하여 작은 전체 치수; 낮은 생산 단가에 의한 온도-민감성 요소의 대량 생산; IC 공장에서의 제품 제작의 고속 적용;. 이들에 기초한 온도-민감성 요소와 저항 열 변환기는 특성에 있어서 외국 및 국내의 동종류의 장치와 같거나 더 우수한 성능을 보인다.- 귀금속(백금)소비의 현저한 감소(100배 이상)- 도선 측정 요소와 비교하여 작은 전체 치수- 낮은 생산 단가에 의한 온도-민감성 요소의 대량 생산- IC 공장에서의 제품 제작의 고속 적용