일반기술
다이아몬드 필름 합성 유닛
여러 다른 재료 표면에 대한 기상으로부터의 증착을 통한 다이아몬드 필름의 합성. 이 유닛은 세 블록으로 나누어짐: 개스 방출 챔버, 전력공급 체계, 및 개스공급 체계. 기체 혼합물에 자극을 주기 위하여 글로 방전이 주기적으로 반복된다. 현존하는 유사물과 비교할 때 생산성이 증가되고 전력소비가 감소하였다. 필름 증착 면적 약 100 cm2. 소비전력 약 30 킬로와트. 기체 혼합물(CH4-CO2-H2)의 소비 시간당 약 20나노리터. 다이아몬드 필름의 대량생산 비용 캐러트당 5 미국달러 미만.현존하는 유사물과 비교할 때 생산성이 증가되고 전력소비가 감소필름 증착 면적 약 100 cm소비전력 약 30 킬로와트. 기체 혼합물(CH4-CO2-H2)의 소비 시간당 약 20나노리터.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 정밀화학물질 기술
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-06-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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