일반기술

마이크로전자 압력 트랜스듀서

게이지의 새로운 등급 개발 즉 마이크로 전자 압력 센서(MPS) 개발을 위한 마이크로 전자 압력 트랜스듀서로서 마이크로 전자 압력 센서(MPS)를 사용한 경우와 사용하지 않는 2가지 경우를 고려하여 마이크로 전자 모듈, 실리콘 멤브레인 스트레인 게이지(IPD)를 개발하였다. IPD와 그 모듈들은 비정규화된 출력을 가진다. MPS는 0.25, 0.4, 1의 정밀도를 가지는 4-20mA 또는 0-5mA의 표준 출력 신호를 가진다. 이 제품에 대한 주요 특성은 공칭 압력 범위 0.04-30MPa, 공칭 압력에서 출력 신호 50-70mV, 온도 범위 -50도C에서 +60도C까지, 온도 감도 0.03%/도C 미만, 영점 이동 0.03%/도C 미만, 영점 히스테리시스 전압 0.1mV 미만, 출력 신호 비선형성 0.3% 미만, 압력 과부하 허용 범위 5Pnom 이하이다. 외국의 주요 비슷한 제품(예를들어 미국의 엔덴보코, 하니웰)과 본 트랜스듀서의 주요한 기술적 특성이 일치하며 과부하 허용과 가격면에서 다른 외국 제품에 비해 우수하다. 공칭 압력 범위 0.04-30MPa, 공칭 압력에서 출력 신호 50-70mV, 온도 범위 -50도C에서 +60도C까지, 온도 감도 0.03%/도C 미만, 영점 이동 0.03%/도C 미만, 영점 히스테리시스 전압 0.1mV 미만, 출력 신호 비선형성 0.3% 미만, 압력 과부하 허용 범위 5Pnom 이하.