일반기술
구리 공칭 정전 특성(NSC) 박막 온도 감지 원소 생산 기술
고체 물체 표면 뿐 아니라 액체, 기체, 과립 매질의 온도 측정을 위한 넓은 공칭 저항값과 높은 변환 정밀도, 넓은 측정 범위를 가진 저항 열변환기 박막 온도 감지 원소를 제작하였다. 이 기술은 이온 플라스마 근사, 전자빔 증착, 포토리소그래피, 레이저 조절 등과 같은 기술을 포함하며 제작시 높은 생산성을 제공한다. 주요 특성은 0도C에서 공칭 저항 50,100(500, 1000)오옴이며, W100값은 1.424-1.428, 측정 온도 범위 -50도C에서 +200도C까지, 액체에서 열 지체 지수 50s 이상 되지 않는 특성을 가진다. 또한 수K 오옴까지 공칭 저항값을 증가시킬 수 있으며, 개별 온도 감지 요소의 상호 교환 가능성, 감지 요소의 모든 크기와 재료들의 고유 소비 감소, 집적 회로 출력에서 특성화된 플랜트의 고속 제품 생산이 가능하다. 세계 최초로 완전 규모 생산에서 제작한 유선 열 컨버터와 유사한 실제 특성을 구현하였다. 이 기술은 브루셀에서 개최된 유레카 95 발명 경진 대회에서 수상한 기술이다. 온도 감지 요소(온도-감지 저항)들은 아직까지 생산된 것이 없으며 그들 특성은 국내외의 유사한 측정기보다 우수하다.0도C에서 공칭 저항 50,100(500, 1000)오옴이며, W100값은 1.424-1.428, 측정 온도 범위 -50도C에서 +200도C까지, 액체에서 열 지체 지수 50s 이상 되지 않는 특성을 가진다. 또한 수K 오옴까지 공칭 저항값을 증가시킬 수 있으며, 개별 온도 감지 요소의 상호 교환 가능성, 감지 요소의 모든 크기와 재료들의 고유 소비 감소, 집적 회로 출력에서 특성화된 플랜트의 고속 제품 생산이 가능.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-06-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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