일반기술

표면 품위에 대한 접촉 특성 제어

이 기법은 레이저 발진기, 광학 부품, 대형 통합 배치 라인 등에서 미러의 정밀 표면에 대해 접촉 특성을 제어하기 위해 사용된다. 이 방법에 의해 평판 및 준-평판 표면에 대해 평균 제곱 의미의 제어가 가능하다. 이 장치의 기술적인 특성으로는, 프로브 레이저 펜의 직경은 2-4mm, 표면의 곡률 반경은 600mm 이상, 레이저 방출 파장은 337nm, 원형 측정 시간은 0.65c 이하, 샘플의 주사 단면 영역은 50mm, 샘플의 최대 치수는 160*160mm, 장치의 최대 치수는 1860*650*770mm, 서로 다른 재료의 표면에 대한 장치의 감지 능력의 한계는, 은의 경우 0.18nm, 알루미늄은 0.13nm, 구리는 0.24nm, 철은 0.18nm, 유리는 0.57nm, 실리콘은 0.16nm 등이고, 측정 가능 거칠기의 상한은, 금속의 경우 10nm, 유리의 경우 25nm 등이다. 이 기술의 주요 장점으로는, 다양한 거칠기를 갖는 다양한 재료의 표면 특성을 측정할 수 있고, 산업적인 조명 및 진동 조건에서의 제어가 가능하다는 것이다.