일반기술
텅스텐 산화 기반 마이크로 전기 화학 NOx 센서
이 발명품은 고체 상태, 단일칩, 화학 저항, 표면 마이크로 센서상에 위치한 저비용 신뢰성 있는 NOx 센서이다. 특별한 재료 선택은 높은 선택성과 NOx 감도를 가질 수 있다. 집적 CMOS 설계는 센서에 놓여지며 동일한 칩상의 회로에 관련되며 저비용과 동작이 용이성을 보증한다. 이 소자로부터 얻어진 표면 측정들은 방사 순응과 공정 제어 응용을 위한 소형 연소 시스템 소비를 감시하는데 이용할 수 있다. 주된 소비자 응용을 NOx 방사 감사를 위한 자동차 소비에서 사용할 수 있다. 이 정보는 낮은 방사를 유지하기 위한 변화하는 조건하에서 엔진 동작 파라미터를 변화하기 위한 실시간 피드백 신호로서 사용할 수 있다.실시간 응답, 저비용, 저감도
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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