일반기술

병렬 탐침자의 리소그래픽 응용

병렬에서 몇 개의 고분해능 리소그래피 소자의 시스템 운용이다.병렬에서 몇 개의 고분해능 리소그래피 소자의 시스템 운

기술정보

기술분류: 전기·전자 > 기타 반도체
보유기관: 특허법인충정
기술유형: 일반기술
등록일: 2001-02-26
데이터 갱신일: 정보 없음

상세설명

정보 없음

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