일반기술
준 상정합을 위한 리튬 니오베이트 등등의 전계 영역 패터닝
지수적 산출물을 가지고 임의적으로 넓은 영역의 임의적 두께 웨이퍼에서 서브미크론 정밀도를 가진 영역 패턴 생성법지수적 산출물을 가지고 임의적으로 넓은 영역의 임의적 두께 웨이퍼에서 서브미크론 정밀도를 가진 영역 패턴 생성법
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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