일반기술
마이크로머신 소형 공초점 주사 광학 현미경
표준 실리콘 마이크로머시닝 기술을 이용하여 공초점 현미경이 완전하게 제작되었다. 이 소자는 실리콘-절연체-실리콘(SIS) 기판으로 구성되고 스캐너는 2개의 정전기적으로 액츄에이터된 비틀림 진동 단일축 주사 거울을 사용하여 제작하였다.이 소자는 실리콘-절연체-실리콘(SIS) 기판으로 구성되고 스캐너는 2개의 정전기적으로 액츄에이터된 비틀림 진동 단일축 주사 거울을 사용하여 제작하였다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.