일반기술
마이크로머신 초음파 누설파 공기 트랜스듀서
이 발명품은 유체 매질 주변에서 효율적인 전달 초음파 에너지에의 얇은 마이크로머신 평판에서 가장 낮은 차수 비대칭 램브파 모드의 고에너지 누설에 사용하는 기법의 제작과 소자를 발표하였다. 이 발명품은 기술된 소자를 가지고 고효율의 MHz 주파수 범위에서 광대역 동작을 가능하게 한다. 제조법들은 현재 실리콘 마이크로머시닝과 IC 기술로 호환성을 가진다.광대역에 대한 고효율, 마이크로머신 기법 이용
기술정보
- 기술분류
- 통신 > 기타 무선·이동통신
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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