일반기술
측면 자속 캐패시터
측면 자속 캐패시터는 하부 평판 캐패시턴스의 효과를 감소시키고 단위 영역당 캐패시턴스를 증가시키기 위하여 수직 전계와 측면 전계 모두를 나타내는 혁신적인 구조이다. LFC는 0.35um과 0.35um CMOS 공정으로 제작하였다. 실험 결과들은 캐패시턴스 단위 영역에서 3×증가가 있음을 보였다.면적이 효율적인 선형 캐패시터, 단위 면적당 캐패시터 증가, 기생 하부 평면 캐패시턴스 감소
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 소자응용 기술
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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