일반기술
프리즘 정형 탐침자속의 초점
초점빔에 의해 여기된 2.2 고굴절률과 26도의 테이퍼 각을 가진 SiN 프리즘의 초급속 테이퍼를 고려하였다.초점빔에 의해 여기된 2.2 고굴절률과 26도의 테이퍼 각을 가진 SiN 프리즘의 초급속 테이퍼를 고
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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초점빔에 의해 여기된 2.2 고굴절률과 26도의 테이퍼 각을 가진 SiN 프리즘의 초급속 테이퍼를 고려하였다.초점빔에 의해 여기된 2.2 고굴절률과 26도의 테이퍼 각을 가진 SiN 프리즘의 초급속 테이퍼를 고
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