일반기술
2차원 단계 교정
기계적 부품의 정확한 측정을 위하여 사용된 X선 스캐너 시스템 또는 위치 도량학 측정을 위한 2차원 측정계 상의 위치 왜곡의 정확한 교정을 위한 방법을 제공한다. 그 절차는 미지의 위치를 가진 마크의 강체 아티팩트를 사용하고 측정 계측 반복성과 등가한 정밀도를 위한 계측 측정계 왜곡의 교정이다.고속 계산, 잡음 내성, 설치 용이, 모든 2차원 왜곡 자기 교정 문제에 확장 가능
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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