일반기술

열플라즈마에 의한 다이아몬드 합성

직류 플라즈마제트 장치, 고주파 열플라즈마 장치 및 연소염법 장치를 이용하여 다이아몬드를 합성하였다. 열플라즈마(직류, 고주파)에 의하여 다이아몬드를 합성하는 경우 CH4/H2의 비 및 기판 온도가 결정성이 좋은 다이아몬드를 합성하는데 있어서 중요한 영향을 미치는 것을 확인하였다.값싼 Alcohol류를 반응원료로 사용하여 다이아몬드를 합성할 수 있었다.

기술정보

기술분류
재료 > 기타 금속재료
보유기관
한국기술거래(주)
기술유형
일반기술
등록일
2000-01-17
데이터 갱신일
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상세설명

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