일반기술
인사이튜 포토레지스트 bake 감시 센서
이 센서는 포토레지스트 조사 공정 감시에 의한 리소그래피 공정 동안 실시간 정보를 마련하기 위하여 설계되었다. 이 방법은 레지스트막 탄성 특성에서 변환뿐만 아니라 레지스트/솔벤트 혼합의 유리 전이 온도 감시도 가능하다. 따라서 이 방법은 고장 검출 센서와 종단점 검출의 궁극적인 응용을 가진 조사 공정으로서 재료 특성 변화 측정에 대해 유용하다.초기 측정, 레지스트의 재료와 막특성의 밀도와 두께의 동시 측정
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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