일반기술
주사 탐침자 전위차계
이 발명품은 집적화된 팁을 가진 소형 제작 캔틸레버를 이용하여 표면 전위 또는 표면 전하를 측정한다. 이 발명품은 잠재 분해능을 가진 1제곱 mm보다 큰 지역에 대한 표면상의 전하 분해능은 0.1um 이하이다.표면 전하의 직접 측정은 토포그래피와 같은 인자에 의해서 영향을 받지 않으며 다른 원하지 않는 팁/표면 상호 작용에 의해서도 영향을 받지 않는다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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