일반기술
주사 비틀림 거울
이 발명품은 소형 고분해능 광학 현미경에 사용하기 위한 비틀림 주사 거울의 새로운 형태이며 이와 같은 거울 시스템을 이용한 다른 응용들도 있다. 새로운 주사 거울들은 거울 아래 실리콘 기판 속으로 에치된 공동의 실리콘 질화 스트립에 의해 현수된 실리콘 질화 평판(거울)로 구성되어 있다. 알루미늄 전극들은 정전 작용을 마련하기 위하여 거울의 꼭대기 표면상에 패턴된다.사용자 표준 마이크로머시닝 기법, 고분해능
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.