일반기술
마이크로머신 고반사 변형 가능 거울
고굴절율 광품질 연속 표면, 고강도 처리 용량을 가지는 새로운 실리콘 변형 가능 거울 설계가 개발되었다. 이것은 집적 회로 기술로부터 생산 비용 감소까지의 제작 공정 채택에 의해 인접 채널 분리 기법과 새로운 동작의 사용에 의해 생산되었다.보고된 고반사 코팅을 가진 연속막 마이크로머신 변형 가능 거울, IC 생산에 의한 저비용, 저전압, 누화와 인접 채널 결합 감소 절연 그리드
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 레이저 광학(R12)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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