일반기술
주사/영상 정렬 시스템을 위한 부공간 기반 정렬 기법
정렬 신호의 부공간 분해에 기반한 새로운 정렬 기법이 개발되었다. 정렬 신호의 구조는 미지 위치를 가진 훈련 신호의 집합으로부터 추출되었다. 이 구조는 새로운 정렬 신호들의 위치를 찾는데 공헌한다. 모델은 공정 파라미터들에서 변화로 인한 신호에서 작은 변화가 있다고 가정한다. 실험 웨이퍼가 이 기법의 성능을 검증하기 위해 제작되었다. 실험 결과는 공통 정합 필터링법과 비교하여 정렬 오차에서 진폭의 순서 저감이 큼을 보여주었다.리소그래피 장비상의 정렬 시스템의 성능 개선, 하드웨어 변경을 요구하지 않기 때문에 저비용으로 쉽게 구현, 적응 현상으로 인한 공정의 변화에 대한 조정 능력
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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