일반기술
마이크로머신 레일레이, 평면파와 체적파 초음파 트랜스듀서
이 발명품은 에지 부착막의 진동을 이용한 초음파 발생은 위한 소자를 제작하는 방법이다. 초음파를 생성하기 위한 이 새로운 방법은 초음파 생성에서 압전, 전자기 또는 열적 방법에 대하여 장점을 가지고 있다.상대적으로 저렴한 소자, 좋은 공정 제어, 전자 통합 가능, 전자 초점과 주사를 위한 트랜스듀서 배열의 제작 허용
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 시험측정 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.