일반기술
마이크로 크기 부품 제조
이 발명품의 방법은 실리콘 웨이퍼에 패턴을 형성하고 다른 재료 위에 이 패턴을 전달한다. 실리콘 웨이퍼들은 패턴되며 3차원 패턴의 계단 프로파일에 생성된다. 스텝 크기에 대한 제한은 주로 수용 가능한 노력 에칭 공정의 균일성과 정확성에 의해 부과된다. 가변 높이의 스텝을 만들어 낼 수 있으며 스텝의 수는 임의의 부분 허용을 유지하는 동안 최소화할 수 있다.서브밀리미터파 범위에서의 구조 제작, 완전 자동화, 부품은 CAD 설계로부터 직접 제작
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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