일반기술
고성능 압전 저항 가속계
이 발명품은 경사 이온 주입과 검은 반응성 이온 에칭(DRIE)을 이용한 고성능 압전 저항 가속계의 구축과 설계를 가진다. 시제품 가속계는 가장 비싼 상업적 가속기인 ADXL05와 일치하는 성능을 제공하고 지금 당장 현저한 개선을 제외하고 음원 바이어스가 있다. 이 일반적인 기술을 다른 검출 응용에서 폭넓게 사용할 수 있음을 알았다.제작 용이, 성능 개선, 저비용
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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