일반기술
미세 결함 검출을 위한 방법
이 발명품은 실리콘 웨이퍼상에 존재하는 미세 결합 검출의 방법을 제공한다. 이 감도법은 실리콘 웨이퍼상에 존재하는 미세 결함에 선택적으로 증착한 금속에 의해 이루어졌다. 이들 결합들은 선택적으로 장식이 되며 입자 카운터와 같은 종래의 방법에 의해 쉽게 검출된다.현재의 방법보다 작은 결함 검출 가능, 높은 수율
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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