일반기술
비구면 고체 침수 렌즈
이 발명품은 표면상의 렌즈 위치를 위한 방법과 비구면 고체 침수 렌즈를 제작하기 위한 기법이다. 이같은 렌즈들은 다양한 크기로 제작될 수 있으며 극도로 소형인 렌즈들을 다중 배열에서 만들 수 있다. 이같은 렌즈들은 캔틸레버상에 위치하며 기판과 관련해서 렌즈의 초정밀 위치와 높이 제어를 가능하게 한다.광리소그레피의 기지의 방법을 이용한 비구면 SIL의 효율적인 제작, 광리소그래피, 렌즈의 다중 배열 생성과 고체적 생산
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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