일반기술
반도체 공정 장비에서 물리적으로 수송 웨이퍼를 위한 재사용 가능 지원
이 발명품은 반도체 공정 장비에서 물리적 수송 웨이퍼를 위한 재사용 가능 지원을 마련하였다. 이 웨이퍼 지원은 공정 웨이퍼를 지원하는 강체 디스크이다. 이것의 설계와 재료는 각 에칭 도구에서 웨이퍼 클램핑 기구를 가지고 호환성이 있음을 알았다. 직접 후방을 준비한 선택이 있고 척을 위한 연속적 웨이퍼 정렬이 있다.관통 웨이퍼 에칭에의 매우 깊은 것과 관련한 많은 문제를 제거하는데 이 웨이퍼가 도움을 줌, 웨이퍼 공정의 후면 조건의 보다 적은 제한으로 인한 공정 유연성 증가 마련, 웨이퍼 지원이 정전기적으로와 기계적 클램프로 사용할 수 있도록 링으로 보호
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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