일반기술
원자 흡수 분광을 이용한 원자 자속 측정
이 발명품의 목적은 물리적 기상 증착 공정 제어를 위한 원자수 자속의 직접 측정을 제공하는 것이다. 다이오드 레이저와 평형 검출 기구를 이용한 파장 변조 분광의 조합은 고감도와 고신뢰성을 제공한다. 이것은 열장벽 코팅과 광전압 재료, 반도체 소자의 금속화, 고온 초전도체, 고성능 합금과 같은 재료 생산을 위한 물리적 기상 증착 공정의 제어와 감시를 개선시킬 수 있다.참 자속 측정을 위한 속도와 밀도상의 정보 준비, 전체 기판 영역에 대한 측정, 비침격 측정, 고감도, 강인성, 신뢰성
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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