일반기술
접속을 통한 관통 웨이퍼
이 발명품은 트랜스듀서의 2차원 배열에서 개별적인 요소와 접속하기 위한 관통 웨이퍼 비자 사용과 관계된다. 특별히 이 발명품은 마이크로머신 용량성 초음파 트랜스듀서의 접속과 관련이 있다.개별 요소와 결합하기 위한 관통 웨이퍼 사용
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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