일반기술
침수 응용을 위한 cMUT의 개선된 막설계
이 발명품은 활성 캐패시턴스 비를 위한 기생 캐패시턴스 감소와 트랜스듀서 영역의 활성 몫을 증가함에 의한 침수 응용을 위한 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUTs)의 성능을 개선하기 위한 몇 개의 새로운 설계를 포함하고 있다.트랜스듀서 면적의 활성 부분 증가, 능동 캐패시턴스 정량에의 기생 캐패시턴스 감소
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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