일반기술
공중 초음파 응용을 위한 후지원 광대역 cMUT
공기에서 저주파와 광대역 초음파 여기와 검출이 가능한 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(cMUT) 제작을 위한 새로운 방법을 기술하였다. 작은 변화막의 형성 대신에 cMUT의 주변에 따라 클램프되며 이들 트랜스듀서들은 점과 같은 지원에 의해 상대적으로 큰 막을 지원하여 형성되었다.공기에서 광대역 초음파 여기와 저주파 가능
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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