일반기술
캔틸레버 칩속으로 트랜지스터 집적
이 발명품은 주사 탐침자 리소그래피를 위한 일정 전류원으로 동작하기 위한 AFM 캔틸레버 속으로 트랜지스터를 집적하는 것이다. 이 트랜지스터는 활동 전류 피드백 회로에 대하여 필요성을 제거하고 방사 전류를 안정화한다.약 25nm 크기 패턴 차원
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.