일반기술
마이크로머신 막을 위한 광학 변위 센서
본 개발품은 다양한 응용에서 막들의 정적과 동적 변위 측정을 위한 광학법에 기반한 감도 회절 장치이다. 이 방법은 전자와 광을 통합할 수 있도록 되어 있으며 배열들의 형태에서 제작된 막 또는 단일막에 대하여 소형 변위 검출기 형태로 사용할 수 있도록 되어 있다.배열 형태로 제작한 단일막 또는 막들을 위한 소형 변위 검출기 형태로 사용 가능
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.