일반기술
마이크로머신 결합 캐패시터 소자
압전 소자에서 고체 평면들은 전기적인 신호에 응답하여 운동한다. 기계적 변위들은 하나의 입력 또는 하나 또는 그 이상의 출력을 가지는 필터와 기계적 소자로 만들어진 다른 전극으로 결합된 동일한 압전 또는 다른 압전과 결합되어 있다. 이 발명품은 다른 특성과 다른 출력을 허용하는 소자인 압전 소자를 제작하기 위한 공진 얇은막에 사용된다.다른 출력을 가진 압전 소자 제작 허용
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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