일반기술

관통 웨이퍼 전기 결합을 가진 탐침자 카드

탐침자 카드는 전기적으로 접촉하는 시험 조건하의 소자(DUT)의 소형 탐침자 배열이다. 탐침자 카드들은 IC의 기능성을 시험할 때 사용하는 필수적인 성분이며 일반적으로 비용 하나당 $10K이다. 표준 IC 시험 시스템에 어떻게 탐침자 카드를 조화하는 가의 간결한 기술은 www.cerprobe.com/products.html의 웹상에 있다. 탐침자 카드는 실리콘 캔틸레버와 관통 웨이퍼 전기적 결합을 가진 탐침자팁에 집적되어 있다. 탐침자팁들은 DUT를 가진 인터페이스로 설계되어 있다. 탐침자팁들은 제어력과 지형학을 허용하는 캔틸레버들이다. 압전 저항들은 변위 측정을 위해 몇 개의 캔틸레버에 장착되어 있다. DUT로부터 탐침자팁까지 전기적 신호의 이동은 캔틸레버를 따라서 이루어 진 후 관통 웨이퍼 전기적 결합을 통한 실리콘 웨이퍼로 이어진다. 웨이퍼 전자의 후면상에 집적되어지며 다른 전기적 칩들은 접합되고 전기적 접속이 이루어진다.동조 가능 캐패시턴스와 저항, 누화와 잡음으로부터 소신호 보호를 위한 차폐, 실리콘 제작, IC 제작 호환성