일반기술
원자력 현미경(AFM) 캔틸레버를 위한 집적 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(CUMT) 액츄에이터
이 발명품은 원자력간 현미경(AFM) 캔틸레버를 위한 새로운 통합 액츄에이션 기구이다. 이 발명품은 AFM 캔틸레버의 편향을 위한 용량성 마이크로머신 초음파 트랜스듀서(CMUT)를 사용한다. 이 구조는 실리콘 마이크로머신 기법을 이용하여 구축하였다.cMUTs는 현재 마이크로 제작 기법과 호환성, 다른 액츄에이션 방법으로서 변위의 동일 레벨 준비
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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