일반기술
마이크로파 여기 액시머 레이저
액시머 레이저를 위한 펌프원으로서 마이크로파 가열간단하며 실제적인 설계, 마이크로파 에너지의 80-90% 흡수, 전력 증착은 가스 화합물과 독립, 마이크로파 여기는 플라스마 특성에 불감도
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 레이저 광학(R12)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.
일반기술
액시머 레이저를 위한 펌프원으로서 마이크로파 가열간단하며 실제적인 설계, 마이크로파 에너지의 80-90% 흡수, 전력 증착은 가스 화합물과 독립, 마이크로파 여기는 플라스마 특성에 불감도
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