일반기술
SUPREM3(소프트웨어)
SUPREMⅢ는 표면에서의 1차원 선 수직을 따라 실리콘 반도체의 공정 제작을 시뮬레이션 하기 위한 프로그램이다. SUPREMⅡ 시뮬레이션의 1차 경과들은 불순물 분포와 층 두께이다.불순물 분포와 층두께 시뮬레이션
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 응용소프트웨어
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.
일반기술
SUPREMⅢ는 표면에서의 1차원 선 수직을 따라 실리콘 반도체의 공정 제작을 시뮬레이션 하기 위한 프로그램이다. SUPREMⅡ 시뮬레이션의 1차 경과들은 불순물 분포와 층 두께이다.불순물 분포와 층두께 시뮬레이션
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