일반기술
SUPREM4(소프트웨어)
이 공정 시뮬레이터는 공정 물리에 기반한 모델을 이용하여 2차원 산화와 확산을 시뮬레이션 한다.2차원 산화와 확산 시뮬레이션
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 응용소프트웨어
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.
일반기술
이 공정 시뮬레이터는 공정 물리에 기반한 모델을 이용하여 2차원 산화와 확산을 시뮬레이션 한다.2차원 산화와 확산 시뮬레이션
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