일반기술
음향 방사압을 이용한 마이크로머신 유체 펌프
이 발명품은 마이크로 채널에서의 유체와 세로 음향파의 상호 작용에 의해 펌프된 유체에서의 마이크로 펌프이다. 마이크로 펌프는 압력 구매 유도의 채널속으로 세로 방향파가 방향을 가지고 고주파 입력에 음향 트랜스듀서 응답을 가진다.이동 부품 없음, 마이크로머신 기법에 의한 제작 용이, 제어 전자 공학 통합 용이, 유체에서 임의 거품 제거, 유체 흐름 전기적 제어
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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